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氧化钒非制冷红外焦平面探测器芯片工艺研究

Research on Fabrication of VOx UFPA Detectors

    摘要
  • 摘要: 非制冷红外探测器具有成本低廉、无需制冷等优异特点,在红外探测和红外成像领域占有极其重要的地位.从氧化钒非制冷焦平面探测器的牺牲层、支撑层、氧化钒等制备工艺进行了研究,为国内非制冷焦平面探测器工程化研究奠定了坚实的技术基础.

     

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