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短波CMT红外光导探测器延伸电极的改进

The Shortwave Band CMT Infrared Photoconductive Detector Outstretched Electrode

    摘要
  • 摘要: 针对短波CMT红外光导探测器出现的拖尾问题,找到其拖尾的原因:过渡电极的功函数过大.为此,在原来Cr/Au电极的基础上,提出了In/Au+Cr/Au电极初步解决了拖尾问题,但是在工艺上出现了In聚球现象,影响器件的稳定性.又提出Ti/Au电极,比较好的解决了拖尾问题和In/Au+Cr/Au电极带来的工艺问题.

     

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