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液相外延碲镉汞表面化学腐蚀研究

Study on Chemical Etching of LPE HgCdTe Surface

    摘要
  • 摘要: 应用不同浓度的溴甲醇溶液对液相外延碲镉汞表面进行化学腐蚀，并且测量了腐蚀速率。然后通过原子力显微镜及X射线光电子能谱分析了碲镉汞材料的表面状态。发现经过溴甲醇溶液腐蚀后，碲镉汞表面富碲现象较为严重而且表面粗糙度略有增加。

     

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